专注于激光器、激光量测、光学元件、精密光机、激光器维修以及高精密光学系统

产品中心

深紫外纳秒脉冲固体激光器

深紫外纳秒脉冲固体激光器

德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换,其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。

所属品牌: 德国/Xiton Photonics

应用类型: 激光器

产品型号: 参考商品详情

负责人:肖经理

联系电话:13530351649 

电子邮箱:jimmy.xiao@strongprec.com



0.00
0.00
  

德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换,其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。

所属品牌: 德国/Xiton Photonics

应用类型: 激光器

产品型号: 参考商品详情

负责人:肖经理

联系电话:13530351649 

电子邮箱:jimmy.xiao@strongprec.com



  

  一、简介

 多数Xiton激光器具备TEM00模式输出,保证优越的聚焦性能,适合直写等应用;单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征,长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器,固态激光器体积小、寿命更长,维护成本更低。


  二、产品系列

  1、IXION 193深紫外激光器

  IXION 193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。


11.png


型号

IXION 193 SLM

波长

193.368nm (可选185-194nm)

平均功率

10mW

脉冲宽度

8 - 12ns

单脉冲能量

1.6uJ

重复频率

1-15kHz

M2

<1.6

线宽

80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1

相干长度

>2m

调谐范围

>80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1


  典型应用

     • 光谱仪校准

     • 光刻

     • 干涉仪

     • 193nm计量测量

     • 准分子激光器种子源



  2、SLM系列单纵模激光器

  SLM系列提供1064nm,532,355,266,213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。


12.png


型号

SLM-213

SLM-266

SLM-355

SLM-532

SLM-1064

波长

213nm

266nm

355nm

532nm

1064nm

平均功率

>100mW

500mW

2W

4W

10W

脉冲宽度

6-8ns

8-10ns

10-12ns

10-15ns

15-25ns

单脉冲能量

10uJ

50uJ

200uJ

400uJ

1mJ

重复频率

1-15kHz

1-20kHz

1-15kHz

1-15kHz

1-15kHz

M2

<1.6

<1.7

<1.5

<1.2

<1.2

线宽

<80MHz

<80MHz

<60MHz

<60MHz

<40MHz

相干长度

1.5m

>1.8m

>2.5m

2.5m

3.8m

脉冲抖动

2.5%

<2.0%

<2.0%

<1.0%

<0.4%


  典型应用

     • 激光雷达

     • 干涉计量

     • 光刻

     • 光纤布拉格光栅(FBG)制造

     • 光谱仪校准

     • 计量学

     • 全息



  3、EXCITE系列

  EXCITE系列尺寸较SLM系列为小,提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。


13.png


型号

EXCITE 266

EXCITE 355

EXCITE 532

EXCITE 1064

波长

266nm

355nm

532nm

1064nm

平均功率

150mW

400mW

2.5W

6W

脉冲宽度

10-15 ns

14-18 ns

15-20 ns

20-30 ns

单脉冲能量

7.5uJ

20uJ

125uJ

300uJ

重复频率

1-30kHz

1-30kHz

1-30kHz

1-30kHz

M2

<1.7

<1.3

<1.2

<1.2

线宽

<60MHz

<50MHz

<50MHz

<30MHz

相干长度

>2.5m

>3.0m

>3.0m

>5m


  典型应用

      • Wafer检测

      • 光致发光

      • 干涉测量

 拉曼光谱

 光纤布拉格光栅(FBG)制造

 光谱仪校准

 计量学

 全息

 干涉直写



4、IMPRESS 213

  IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用,213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器,具备更佳的寿命、稳定性,更低的能耗和热负荷,适用7×24工业环境运行。


14.png


平均功率

150mW

脉冲宽度

6-8ns

单脉冲能量

15uJ

重复频率

1-30kHz

M2

<1.6


  典型应用

 FBG刻写

 钻石打标

 波长敏感处理

 立体光刻

 半导体检测

 替代倍频氩离子激光器

 光致发光



15.png



5、IMPRESS 224

  IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出,满足部分对波长有特殊要求的应用(如增强拉曼光谱、痕量气体分析等)。


16.png


平均功率

300mW

脉冲宽度

<9ns

单脉冲能量

>30uJ

重复频率

0.1-30kHz

M2

<1.6


  典型应用

 FBG刻写

 波长敏感处理

 立体光刻

 显示面板修复

 微加工

 半导体检测

 替代倍频氩离子激光器

 光致发光



6、IDOL系列

  IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频(671nm)、三倍频(447nm),其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪,而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。


17.png


型号

IDOL 1342

IDOL 671

IDOL 447

波长

1342nm

671nm

447nm

平均功率

4.5W

2W

1.5W

脉冲宽度

12-26 ns

10-12 ns

11-13 ns

单脉冲能量

300uJ

130uJ

100uJ

重复频率

1-50kHz

1-30kHz

1-30kHz

M2

<1.2

<1.2

<1.3


  典型应用

 显示面板修补

 隐形划片

 波长敏感处理

 硅材料处理

 微加工