专注于激光器、激光量测、光学元件、精密光机、激光器维修以及高精密光学系统
产品中心
德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换,其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。所属品牌: 德国/Xiton Photonics
应用类型: 激光器
产品型号: 参考商品详情
负责人:肖经理
联系电话:13530351649
电子邮箱:jimmy.xiao@strongprec.com
一、简介
多数Xiton激光器具备TEM00模式输出,保证优越的聚焦性能,适合直写等应用;单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征,长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器,固态激光器体积小、寿命更长,维护成本更低。
二、产品系列
1、IXION 193深紫外激光器
IXION 193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
型号
IXION 193 SLM
波长
193.368nm (可选185-194nm)
平均功率
10mW
脉冲宽度
8 - 12ns
单脉冲能量
1.6uJ
重复频率
1-15kHz
M2
<1.6
线宽
80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1
相干长度
>2m
调谐范围
>80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1
典型应用
• 光谱仪校准
• 光刻
• 干涉仪
• 193nm计量测量
• 准分子激光器种子源
2、SLM系列单纵模激光器
SLM系列提供1064nm,532,355,266,213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。
SLM-213
SLM-266
SLM-355
SLM-532
SLM-1064
213nm
266nm
355nm
532nm
1064nm
>100mW
500mW
2W
4W
10W
6-8ns
8-10ns
10-12ns
10-15ns
15-25ns
10uJ
50uJ
200uJ
400uJ
1mJ
1-20kHz
<1.7
<1.5
<1.2
<80MHz
<60MHz
<40MHz
1.5m
>1.8m
>2.5m
2.5m
3.8m
脉冲抖动
2.5%
<2.0%
<1.0%
<0.4%
• 激光雷达
• 干涉计量
• 光纤布拉格光栅(FBG)制造
• 计量学
• 全息
3、EXCITE系列
EXCITE系列尺寸较SLM系列为小,提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。
EXCITE 266
EXCITE 355
EXCITE 532
EXCITE 1064
150mW
400mW
2.5W
6W
10-15 ns
14-18 ns
15-20 ns
20-30 ns
7.5uJ
20uJ
125uJ
300uJ
1-30kHz
<1.3
<50MHz
<30MHz
>3.0m
>5m
• Wafer检测
• 光致发光
• 干涉测量
• 拉曼光谱
• 干涉直写
4、IMPRESS 213
IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用,213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器,具备更佳的寿命、稳定性,更低的能耗和热负荷,适用7×24工业环境运行。
15uJ
• FBG刻写
• 钻石打标
• 波长敏感处理
• 立体光刻
• 半导体检测
• 替代倍频氩离子激光器
5、IMPRESS 224
IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出,满足部分对波长有特殊要求的应用(如增强拉曼光谱、痕量气体分析等)。
300mW
<9ns
>30uJ
0.1-30kHz
• 显示面板修复
• 微加工
6、IDOL系列
IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频(671nm)、三倍频(447nm),其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪,而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。
IDOL 1342
IDOL 671
IDOL 447
1342nm
671nm
447nm
4.5W
1.5W
12-26 ns
10-12 ns
11-13 ns
130uJ
100uJ
1-50kHz
• 显示面板修补
• 隐形划片
• 硅材料处理