一、产品简介

  整形镜光束整形器是Holo/Or最常用的衍射元件（DOE）之一，英文名称Beam shaper，简称整形镜，其作用是获得能量分布均匀、边界陡峭，同时具有特定形状的平顶光斑，也可称为平顶帽式（Top-hat）光斑。光斑尺寸一般在几十微米到几百微米的范围，光斑形状可以是圆形，矩形，正方形，直线，椭圆或可以根据客户需求进行定制。当激光光束经过平顶光束整形器后，它能使光斑的能量分布得到均匀的处理，达到平顶光的效果。这个特性用于激光加工可以防止特定区域过度曝光或曝光不足。 此外，形成的平顶光斑的特点是创造了一个尖锐的过渡区，清晰的区分了处理和未处理区域之间的边界。

  入射光M2值的影响光束整形器产生的平顶光效果与入射光有很大的关系，一般要求M2值小于1.3，越小越好，如果M2变大，则平顶效果随之变差，即平顶光斑的均匀性变差且边界陡峭性变差。在这种情况下，需要引入光阑和准直系统，或空间滤波器(spatial filter)对入射激光进行处理。典型的平顶光整形系统由一个激光器，一个平顶光整形元件和一个聚焦镜组成。光束整形镜对入射的高斯光束进行相位调制而在聚焦镜的近焦平面上得到想要的平顶光斑，需要强调的是平顶光斑并不是聚焦镜的焦平面上获得的，而是在距离焦平面仅有几个um的平面上，因此安装平顶光束整形器时需要进行细致的三维调节以获得最佳效果。

  • 科研：涡旋光、超分辨显微、光刻

  1）平顶光束整形器（光源为类高斯激光）

  2）匀化器（光源为单模或者多模激光）

  3）环形器（1/2/12环可选）

  4）涡旋器