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准分子激光器

准分子激光器

准分子激光器采用ArF、KrF作为增益介质，是产生大能量、重复频率输出的193nm、244nm激光输出的主要手段。短波长激光器对材料有良好的冷剥离能力，同时成像分辨率较高，广泛用于微加工、掩膜刻写、激光烧蚀等领域。

所属品牌： 德国/ATL Lasertech

应用类型： 激光器

产品型号： 参考商品详情

负责人：肖经理

联系电话：13530351649 

电子邮箱：jimmy.xiao@strongprec.com



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准分子激光器采用ArF、KrF作为增益介质，是产生大能量、重复频率输出的193nm、244nm激光输出的主要手段。短波长激光器对材料有良好的冷剥离能力，同时成像分辨率较高，广泛用于微加工、掩膜刻写、激光烧蚀等领域。

所属品牌： 德国/ATL Lasertech

应用类型： 激光器

产品型号： 参考商品详情

负责人：肖经理

联系电话：13530351649 

电子邮箱：jimmy.xiao@strongprec.com



   

   一、简介

   德国ATL Lasertech公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器，主要应用于：

• 眼科手术

• 玻璃及塑料微加工

• 微制造

• 激光剥蚀

• TOF质谱

• FBG刻写


   ATL提供ATLEX、专用于FBG刻写的ATLEX-FBG系列，低负荷的ATLEX-LR系列，以及非常紧凑的ATLEX-S系列。产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：

• 软电晕预电离

• 全固态高压脉冲发生器

• 激光头容积<3L

• 全金属-陶瓷管路

• 集成真空泵及卤素过滤器

• 全风冷，主动热管理

• RS485，RS232，USB以及光纤接口

• 可冲洗光具座

• 能量稳定模式



二、产品型号

1、ATLEX-I系列

  ATLEX-I依据重复频率的不同，分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三个型号。


1.png


技术参数：



增益介质

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长(nm)

157

193

248

308

351

高压开关技术

固态开关

最高脉冲能量(mJ)

1

10

15

8

7

最高平均功率(W)

ATLEX-300-I

0.2

2.4

4.0

2.0

1.7

ATLEX-500-I

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

ATLEX-1000-I

N/A

8

10

N/A

N/A

最高重频(Hz)

ATLEX-300-I

300

ATLEX-500-I

500

ATLEX-1000-I

1000

脉冲宽度(ns)

5 - 8

光束尺寸(mm)

4×6

光束发散角(mrad)

1×2

能量稳定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

540×470×300



2、ATLEX-FBG系列


   ATLEX-FBG系列专为FBG刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG共300、500两个型号。



2.png


 技术参数：


增益介质

ArF

KrF

波长(nm)

193

248

高压开关技术

固态开关

最高脉冲能量(mJ)

10

15

空间相干性(光斑竖直方向)(um)

>300

最高平均功率(W)

ATLEX-300-I

2.4

4.0

ATLEX-500-I

4.0

6.5

最高重频(Hz)

ATLEX-300-I

300

ATLEX-500-I

500

脉冲宽度(ns)

5 - 8

光束尺寸(mm)

4×6

光束发散角(mrad)

1×2

能量稳定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

540×470×300


 

 3、ATLEX-LR系列

   ATLEX-LR 系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(Laser Ablation)设计。激光为193nm输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。


3.png


   技术参数：


增益介质

ArF

波长(nm)

193

高压开关技术

固态开关

最高脉冲能量(mJ)

12

能量稳定选项输出(mJ)

10

脉冲宽度(ns)

5

光束尺寸(mm)

4×6

光束发散角(mrad)

1×2

能量稳定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

540×470×300



 4、ATLEX-S系列

   ATLEX-S具备更小的尺寸，适合低-中负荷的应用。


4.png


   技术参数：

增益介质

ArF

KrF

波长(nm)

193

248

高压开关技术

固态开关

最高脉冲能量(mJ)

10

15

最高平均功率(W)

2.4

4.0

4

6

最高重频(Hz)

300

500

300

500

脉冲宽度(ns)

5 - 8

光束尺寸(mm)

4×6

光束发散角(mrad)

1×2

能量稳定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

630×400×300